光学仪器是仪器仪表行业中非常重要的组成类别，是工农业生产、资源勘探、空间探索、科学实验、国防建设以及社会生活各个领域不可缺少的观察、测试、分析、控制、记录和传递的工具。特别是现代光学仪器的功能已成为人脑神经功能的延伸和拓展。

光学仪器是由单个或多个光学器件组合构成。光学仪器主要分为两大类，一类是成实像的光学仪器，如幻灯机、照相机等;另一类是成虚像的光学仪器，如望远镜、显微镜、放大镜等。

近期，上海市计量测试技术研究院为江西凤凰光学有限公司进行技术调研。凤凰光学经历了传统照相器材产品到数码相机、数字光学仪器、高精密光学镜片等发展。

上海市计量测试技术研究院在对接光学产业发展的计量需求取得的科技成果，如膜厚仪、椭偏仪、圆度仪、平面激光干涉仪等光学仪器的校准能力与技术优势。

双方一致同意在精密坐标测量、非接触式圆度、平面平晶等测量方法研究以及标准制定等方面开展合作。双方将发挥各自的技术和平台优势，加强资源整合，实现合作共赢。

膜厚测试仪

分为手持式和台式二种，手持式又有磁感应镀层测厚仪，电涡流镀层测厚仪，荧光X射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。

台式的荧光X射线膜厚测试仪，是通过一次X射线穿透金属元素样品时产生低能量的光子，俗称为二次荧光,在通过计算二次荧光的能量来计算厚度值。

采用磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小，来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。磁性原理测厚仪可应用来精确测量钢铁表面的油漆层，瓷、搪瓷防护层，塑料、橡胶覆层，包括镍铬在内的各种有色金属电镀层，以及化工石油待业的各种防腐涂层。

椭偏仪

是一种用于探测薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器。由于测量精度高，适用于超薄膜，与样品非接触，对样品没有破坏且不需要真空，使得椭偏仪成为一种极具吸引力的测量仪器。成像椭圆偏振技术正在引起越来越多的兴趣。

研究人员发现利用成像椭偏技术可实现超小块薄膜分析、原位椭偏测量、各种液体环境下的椭偏分析并且可以实现和多种技术联用，如布鲁斯特角显微镜、表面等离子共振、原子力显微镜、石英晶体微天平、LB槽、反射光谱仪、太赫兹光谱仪以及拉曼光谱仪等等。这些新特点拓展了椭偏仪的应用领域。这椭偏技术带来了新的研究热点的同时也给该技术带来了挑战，例如在非稳定液体表面的薄膜的测量和显微成像等。

圆度仪

是一种利用回转轴法测量工件圆度误差的测量工具。圆度仪分为传感器回转式和工作台回转式两种型式。测量时，被测件与精密轴系同心安装，精密轴系带着电感式长度传感器或工作台作精确的圆周运动。圆度仪由仪器的传感器、放大器、滤波器、输出装置组成。若仪器配有计算机，则计算机也包括在此系统内。

通常有两种类型：小型台式，把工件装在回转的工作台上，测量头装在固定的立柱上;大型落地式，把工件装在固定的工作台上，测量头安装在回转的主轴上。测量时，测量头与工件表面接触，仪器的回转部分(工作台或主轴)旋转一周。因回转部分的支承轴承精度极高，故回转时测量头对被测表面将产生一高精度的圆轨迹。

被测表面的不圆度使测量头发生偏移，转变为电(或气)信号，再经放大，可自动记录在圆形记录纸上，直接读出各部分的不圆度，供评定精度与工艺分析之用。广泛用于精密轴承、机床及仪器制造工业中。

平面激光干涉仪

以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

精密坐标测量

坐标测量能测得物体上目标点或离散点在某一坐标系下坐标的测量称为坐标测量。坐标测量主要的技术方法有: 自由设站法、极坐标法、GPS 单点定位法、CSRTK法、散光跟踪法、激光扫描法。主要仪器设备有电子全站仪、ces 接收机、激光跟踪仪、激光扫描仪和工业三维测量中的一些测量系统等。坐标的概念源于解析几何。

解析几何的基本思想是构建坐标系，将点与实数联系起来，进而可以将平面上的曲线用代数方程表示。从这里可以看到，运用坐标法不仅可以把几何问题通过代数的方法解决，而且还把变量、函数以及数和形等重要概念密切联系了起来。坐标的概念应用到工业生产中解决了大量实际问题，而且绝大部分现代测量仪器都是在坐标测量原理的基础上建立的。

非接触式测厚仪

测量仪器与被测物体非接触测量，能够很好的保护所测物体。在工业生产中多用来连续测量产品的厚度(如钢板、钢带、纸张、涂层、板材、薄膜、片材等)。激光在线测厚仪是新一代研制的在线、非接触式的测厚仪。它集激光光源，光电检测和计算机工业控制技术三者于一身，可广泛用于生产线上对各种材料的厚度、宽度、轮廓的实时测量，是我国工业生产线产品质量控制的重要设备。

平面平晶

平行平晶是用于以干涉法测量块规，以及检验块规、 量规、零件密封面、测量仪器及测量工具量面的研合性和平面度的 常用工具。具有两个(或一个)光学测量平面的正圆柱形或长方形的量规。光学测量平面是表面粗糙度数值和平面度误差都极小的玻璃平面，它能够产生光波干涉条纹(见激光测长技术)。

平晶有平面平晶和平行平晶两种。适用于光学加工厂、厂矿企业计量室、精密加工车间、阀门密封面现场检测使用，也适用于高等院校、科学研究等单位做平面度等检测。

新闻来源：上海市计量测试技术研究院